气体质量流量计是利用热扩散原理测量气体流量的仪表。是根据自有FMEMS技术传感芯片开发的一款应用范围较广、低功耗、可移动式设计、带显示、能够实现网络化常规的计量设备。传感器由两个基准级热电阻(RTD)组成。一个是速度传感器RH，一个是测量气体温度变化的温度传感器RMG。独特的温度差测量方式克服了采用恒温差原理。因煤气中含水、油和杂质而造成的很大的零点漂移，导致无法测量的弊端。它也可以用于测量湿气体的质量流量，如矿井下瓦斯抽放、送风，排风系统中的风量（速）的实时检测。